FSH-EBP系列
FSH-EBP泵系統是廣州飛升精密自主研發設計,全新推出的集高效率、高精度、高穩定性、全數控于一體的智能型注液泵，適用于光刻膠、鈣鈦礦等涂布領域。
產品中心
產品介紹
FSH-EBP泵系統是廣州飛升精密自主研發設計,全新推出的集高效率、高精度、高穩定性、全數控于一體的智能型注液泵，適用于光刻膠、鈣鈦礦等涂布領域。
產品特性
? 低粒子結構
? 高精度動作
? 液體置換特性好
? 高可靠性結構
? 除泡性好
? 無污染
產品規格
① 泵系統型號
舉例說明:
型號：FSH-EBP100-G說明:吐出流量范圍為0.1-100ml，標準型EBP泵系統。
應用領域
? 晶圓涂覆
? 藥液的填充、稱量和混合
? 狹縫涂布
? 光刻膠涂布
? 磁盤涂覆
020-22939609
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